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电子发烧友网报道文/莫婷婷）近日，龙图光罩宣布珠海项目顺利投产，公司第三代掩模版PSM产品取得显著进展。KrF-PSM和ArF-PSM陆续送往部分客户进行测试验证，其中90nm节点产品已成功完成从研发
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